マイクロエレクトロニクス
「微小構造磁性体の作製と応用」
電子制御システム工学科
縄手雅彦

2001.11.16


磁気の基礎

スピンとは?

半導体
電子がある,ない
直感的
電磁気学
  ←→  磁性体
スピンが上向き,下向き
概念的
量子力学

  


電流が磁界をつくる




磁界の大きさや向きが時間的に変化するときだ電流 が流れる→電磁誘導


電子の回転運動

原子核の回りの電子の円運動

電荷が円運動を行う ←→ 円電流と等価




軌道の量子化

電子には波の性質がある

電子の軌道が波長の整数倍の長さしか取り得ない




軌道の状態が連続ではなく不連続(とびとび)になる
      ↓
エネルギーの値がとびとびになる(量子化)


分光学

光の吸収を通して波長から状態遷移を調べる

  


→スピン


材料の磁性

磁性体(強磁性体)
隣り合う原子の磁気モーメントが平行

磁化
単位体積当りの磁気モーメント

材料全体の磁気特性は「磁化」を用いて表す


磁化曲線

物質に磁界を印加したときの磁化の変化を示す曲線


形状に起因する効果

反磁界
磁気異方性


磁気メモリ

ENIACの頃の計算機の記憶装置

リング一個で1ビット
大きさがcmの単位

   ↓

半導体メモリに置き換わる

磁気記録は補助記憶装置に


巨大磁気抵抗効果 (Giant Magnetoresistance, GMR)

外部磁場により磁化が平行にそろうときに電気抵抗が大きく減少
最大で50%以上

抵抗変化は10%程度

間のCuを絶縁物に
替えたトンネル磁気抵抗
だと20% 程度の抵抗変化


MRAM (Magnetic Random Access Memory)




メモリセル概念図

縦と横のリード線に電流を流し交点に当たるセルの磁化を反転させる


トンネル効果



井戸型ポテンシャルによる模式図


クーロン障壁

電荷の間に働く力を求めたクーロンにちなんで静電的なものにクーロンという言 葉を使う

グラニュラー構造
強制的に固溶させた後熱処理などにより相分離させる

粒径が小さい(~nm)ときには電子一個の移動でも電気的中性が破られることで余 分なエネルギーが必要になる

帯電エネルギーと電場のエネルギーの大小関係が問題


単一電子トランジスタ


スピンブロッケード



現在の微細加工技術では実現不可能


金属の微細加工技術

     →半導体技術の流用



自己組織化


別の微細加工技術

基板微動式真空蒸着法


装置内部の実際の構成


ピンホールマスク

   

       


微小構造の観察方法

光学顕微鏡
1μm程度まで
 反射率や透過率の差
電子顕微鏡
原子サイズまで
透過型電子顕微鏡
走査型電子顕微鏡
観察のために試 料に特殊な加工
走査プローブ顕微鏡
原子サイズまで
走査トンネル顕微鏡
原子間 力顕微鏡
試料の高さ情報を特 殊なプローブで画像化


原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscope)

非接触 → 感度に問題




接触 → 高分解能,摩擦力の問題


摩擦力の影響を受けないで分解能を上げる方法


磁気力顕微鏡 (Magnetic Force Microscope)

磁気的な構造を高分解能で測定し,表面構造との相関を調べる

チップと試料の間の力

引力 → 振動数減少

斥力 → 振 動数増加


試料観察の例


ピンホールマスクによるドッとの作製例


ピンホールマスクによる細線の作製例


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