研究業績(1996年)

[1] 学術論文
(1) S. Yasuda, Y. Ohtomo, M. Ino, Y. Kado, H. Inokawa, and T. Tsuchiya, "A 4:1 MUX Circuit Using 1/4 Micron CMOS/SIMOX for High-Speed and Low-Power Applications", Jpn. J. Appl. Phys. vol. 35,Part 1, no. 2B, pp.902-905, Feb. 1996.

(2) 土屋,SOI MOSFET −低消費電力・高速向け将来デバイス−,電子情報通信学会誌,vol.79,no.3,pp.246-249,1996年3月.


[2] 国際会議
(1) T. Douseki, S. Shigematsu, Y. Tanabe, M. Harada, H. Inokawa, and T. Tsuchiya, "A 0.5V SIMOX-MTCMOS Circuit with 200ps Gate", ISSCC Dig. of Technical Papers, pp. 84-85, 1996.

(2) M. Ino, H. Sawada, K. Nishimura, M. Urano, H. Sudo, S. Date, T. Ishihara, T. Takeda, Y. Kado, H. Inokawa, T. Tsuchiya, Y. Sakakibara, Y. Arita, K. Izumi, K. Takeya, and T. Sakai,"0.25μm CMOS/SIMOX Gate Array LSI", ISSCC Dig. of Technical Papers, pp. 86-87, 1996.

(3) H. Koizumi, M. Shimaya, and T. Tsuchiya,"Suppressing the Parasitic Bipolar Action of Ultra-Thin SOI MOSFET's Using Back-Side-Bias-Temperature Treatment", Proc. Int'l Reliability Phys. Symp., pp.27-32, 1996.

(4) K. Ikeda, Y. Okazaki, S. Nakayama, and T. Tsuchiya,"Water Re-absorption into Hygroscopic Film in Interlayer Dielectrics and Its Impact on Hot-Carrier Immunity", Symp. on VLSI Technology, Tech. Dig., pp. 116-117, 1996.

(5) M. Harada, T. Douseki, and T. Tsuchiya,"Suppression of Threshold Voltage Variation in MTCMOS/SIMOX Circuit Operating below 0.5V", Symp. on VLSI Technology, Tech. Dig., pp. 96-97, 1996.

(6) H. Inokawa, Y. Okazaki, K. Nishimura, S. Date, T. Ishihara, T. Mizusawa, M. Miyake, T. Kobayashi, and T. Tsuchiya,"Highly Robust 0.25-μm Single-poly-gate CMOS with Inter-well Deep Trenches", Symp. on VLSI Technology, Tech. Dig., pp. 218-219, 1996.

(7) M. Ino, T. Tsuchiya, K. Takeya, and T. Sakai, LSI Application of 0.25-um CMOS/SIMOX Technology, Intl Conf. on Solid State Devices and Materials, Extended Abst., pp.482-484, 1996.

(8) M. Harada, C. Yamaguchi, and T. Tsuchiya, 1-V Multigigahertz MOSFET Amplifier with an On-Chip Inductor Fabricated on a SIMOX Wafer, Intl Conf. on Solid State Devices and Materials, Extended Abst., pp. 485-487, 1996.

(9) S. Nakashima, T. Ohno, S. Nakamura, T. Ueki, Y. Kado, T. Tsuchiya, T. Takeda, and T. Sakai, Sacrificial Oxidation Techniques of Top Si Layer to Reduce Source-To-Drain Leakage Current in 0.25-um MOSFETs/SIMOX, Proceedings 1996 IEEE Intl SOI Conf., pp. 124-125, 1996.

(10) T. Tsuchiya, Stability and Reliability of Fully-Depleted SOI MOSFETs, SPIE Symp. on Microelectronic Manufacturing, vol. 2875, pp.16-27, 1996. (Invited paper)


[3] 研究会、委員会等
(1) 門,大野,猪川,中嶋,土屋,西村,伊達,井野,武谷,酒井,
完全空乏型CMOS/SIMOX素子の低電圧・低消費電力VLSI構成要素としての特長−同じスタンバイリーク電流レベルのバルクLSIとの性能比較−,電気学会 電子デバイス研究会資料,EDD-96-64,pp.1-7,1996.

(2) 佐藤,大野,土屋,小杉,石井,極薄膜MOSFET/SIMOXのソース・ドレイン上に形成したW層の寄生バイポーラ効果への影響,電子情報通信学会,シリコン材料・デバイス研究会資料,SDM95-266,pp.23-29,1996.

(3) 土屋,大野,田沢,富沢,完全空乏型MOSFET/SIMOXの基板浮遊効果抑制策と信頼性,電子情報通信学会,シリコン材料・デバイス研究会資料,SDM96-23,pp.53-59,1996.

(4) 沢田,井野,西村,首藤,山越,石原,門,土屋,0.25μm CMOS/SIMOXゲートアレイLSI,電子情報通信学会,シリコン材料・デバイス研究会資料,SDM96-47,pp.67-72,1996.

(5) 道関,重松,田辺,原田,猪川,土屋,0.5V動作MTCMOS/SIMOX回路,電子情報通信学会,シリコン材料・デバイス研究会資料,SDM96-55,pp.41-46,1996.

(6) 小泉,嶋屋,土屋,Back-Side Bias-Temperature (BSBT)処理によるSOI-MOSFETの特性改善,第6回RCJ信頼性シンポジウム,1996年11月12日


[4] 学会講演会
(1) 土屋,大野,田沢,富沢,
イオン注入で形成した再結合中心によるSOI MOSFET基板浮遊効果の抑制 [I]  基本原理とシミュレーション,第42回応用物理学関係連合講演会,26pE-10,1996.

(2) 大野,高橋,土屋,イオン注入で形成した再結合中心によるSOI MOSFET基板浮遊効果の抑制 [II] Ar注入を用いた実験,第42回応用物理学関係連合講演会,26pE-11,1996.

(3) 門,大野,西村,井野,土屋,イオン注入で形成した再結合中心によるSOI MOSFET基板浮遊効果の抑制 [III]  LSIへの適用,第42回応用物理学関係連合講演会,26pE-12,1996.

(4) 原田,道関,土屋,低電圧MTCMOSのためのCMOS/SIMOXデバイス技術,第42回応用物理学関係連合講演会,26pE-13,1996.

(5) 猪川,中山,土屋,溝分離の導入による接合リーク電流の低減,第42回応用物理学関係連合講演会,27pN-16,1996.

(6) 門,猪川,土屋,河合,佐藤,榊原,中嶋,山田,北村,中山,西村,伊達,井野,武谷,酒井,完全空乏型CMOS/SIMOX素子の低電圧・低消費電力型VLSI構成要素としての優位性1996年電子情報通信学会総合大会,SC-7-3,1996.

(7) 大野,高橋,大高,榊原,土屋,Arイオン注入による極薄膜nMOSFETs/SIMOXにおける寄生バイポーラ効果の抑制1996年電子情報通信学会総合大会,SC-7-5,1996.

(8) 佐藤,土屋,小杉,石井,ソース/ドレイン上に選択W層を形成した1/4ミクロン級極薄膜MOSFET/SIMOXの特性1996年電子情報通信学会総合大会,SC-7-6,1996.

(9) 土屋,佐藤,門,田沢,完全空乏型MOSFET/SIMOXにおける短チャネル効果 −DIBL効果と基板浮遊効果−,第56回応用物理学会学術講演会,7pR-4,1996.

(10) 原田,道関,土屋,MTCMOS/SIMOXにおける閾値電圧ばらつきの抑制,第56回応用物理学会学術講演会,7pR-6,1996.

(11) 佐藤,門,土屋,小杉,極薄膜CMOS/SIMOXの拡散層シート抵抗がゲート遅延に及ぼす影響,第56回応用物理学会学術講演会,7pR-8,1996.

(12) 中村,植木,中嶋,竹田,土屋,0.25μm SIMOXにおけるMOSFETのソース・ドレインリーク解析,第56回応用物理学会学術講演会,9aP-2,1996.

(13) 中嶋,中村,門,土屋,竹田,大野,植木,酒井,0.25μmゲートMOSFET/SIMOXのソースドレイン間リーク電流の低減化犠牲酸化法,第56回応用物理学会学術講演会,9aP-3,1996.

(14) 小泉,嶋屋,土屋,バックサイドBTによるSOI-MOSFET寄生バイポーラ動作の抑制,第56回応用物理学会学術講演会,9aP-5,1996.