土屋敏章

研究歴

 1976年(昭和51年)3月,早稲田大学大学院理工学研究科電気工学専攻修了.大学院では伊藤糾次教授の研究室にて,GaAsへのSイオン注入およびGaAsへのOイオン注入に関する研究に従事.1976年4月,日本電信電話公社(現NTT)入社.武蔵野電気通信研究所集積記憶研究部配属.以来,1998年(平成10年)3月までの22年間,NTT研究所にてCMOS集積回路デバイスの物理,設計,信頼性,製造プロセスの研究・開発に従事.具体的には,

  • 微細MOSFETにおける短チャネル効果や狭チャネル効果,および,SOI MOSFETにおける基板浮遊効果などのデバイス物理の研究
  • デバイス特性劣化や発光現象に関するMOSデバイスにおけるホットキャリア効果の研究
  • 1μm,0.5μm,0.25μm世代の微細MOSFETの構造設計
  • SIMOX基板を用いた0.25μm完全空乏型CMOS/SOI LSIデバイス・プロセス技術の研究・実用化
  • 出力信号の増幅作用を有するDRAMメモリセルの発案と研究
  • MOSデバイスの放射線損傷の研究と耐放射線CMOS LSI技術の研究・開発

 

などに従事.1983年(昭和58年)11月から1年間,米国コーネル大学電気工学科 客員研究員.Jeffrey Frey教授の研究室にて,微細MOSFETにおけるホットキャリア効果の研究に従事.平成10年4月から,島根大学総合理工学部教授.SOI CMOSデバイス,SiGe/Siヘテロ構造を導入したMOSデバイスなどの超低消費電力・超高速デバイスの研究,低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ(TFT)の高性能・高信頼化の研究,ナノスケールデバイスおよびナノスケール界面物性の研究などに従事.現在に至る.IEEEフェロー,応用物理学会フェロー.



学位論文

「微細MOSFETにおけるホットキャリア効果に関する研究」,工学博士 早稲田大学 第1408号,1988年(昭和63年)2月.



略歴

1970 3月 埼玉県立浦和高等学校卒業

1974 3月 早稲田大学理工学部電子通信学科卒業

1976 3月 早稲田大学大学院理工学研究科修士課程(電気工学専攻)修了

1976 4月 日本電信電話公社(現NTT)入社 武蔵野電気通信研究所配属

1983年11月 米国コーネル大学電気工学科 客員研究員(1年間)

1986
2月 NTT厚木電気通信研究所 集積加工研究部 総括補佐

1988 2月 工学博士(早稲田大学 第1408号)

1992年 4月 NTT LSI研究所 第2プロジェクト サブプロジェクトチームリーダ

1996年 7月 NTTシステムエレクトロニクス研究所 デバイス研究グループリーダ

1998年 4月 島根大学教授(総合理工学部 電子制御システム工学科 電子デバイス工学講座)

2002年 1月 IEEE フェロー

2004年 7月 島根大学重点研究プロジェクト「S-ナノテクプロジェクト」リーダ(2005年3月まで)

2004年10月 島根大学産学連携センター連携企画推進部門部門長(兼務)(2008年3月まで)

2006年4月 島根大学総合企画室室員(兼務)(2012年3月まで)

2006年4月 島根大学大学院総合理工学研究科博士後期課程電子機能システム工学専攻専攻長(2008年3月まで)

2008年4月 島根大学教育研究評議会評議員(兼務)(2010年3月まで)

2008年8月 応用物理学会中国四国支部貢献賞受賞

2012年4月 改組により島根大学大学院総合理工学研究科 教授 (総合理工学専攻 機械・電気電子工学領域)

2012年9月 応用物理学会フェロー

2014年1月 第11回STARC共同研究賞受賞

2016年1月 IEEE広島支部功績賞受賞

2016年9月 第38回(2016年度)応用物理学会優秀論文賞受賞


学会などの主な対外活動

応用物理学会 理事 (2009-2010)

応用物理学会 諮問委員 (2012-2013)

応用物理学会 評議員 (2005-2008, 2011)

応用物理学会中国四国支部 支部長 (2003-2004)

応用物理学会中国四国支部 支部表彰選考委員会委員長 (2006-2007, 2016)

応用物理学会・日本物理学会支部学術講演会実行委員長 (2005)

応用物理学会中国四国支部 役員 (2001- )

応用物理学会誌「応用物理」編集委員 (2001-2002)

応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 常任幹事 (2004-2005)

応用物理学会 代議員(2002)

Japanese Journal of Applied Physics (JJAP) 編集委員 (1996-1999)

JJAP特別編集委員 (2011.9-2013.10)

IEEE広島支部 支部長 (2005-2006)

IEEE Japan Council理事 (2005-2006)

IEEE広島支部 理事 (2001-2002, 2007-2008)

電気学会 新IV族原子制御デバイス材料技術調査専門委員会委員 (2008-2009 )

電気学会 IV族系ヘテロ超微細デバイス材料技術調査専門委員会委員 (2006-2007)

電気学会 IV族系ヘテロデバイス・システム材料技術調査専門委員会委員 (2004-2005)

電気学会 超高速SiGeデバイス材料技術調査専門委員会委員 (2002-2003)

独立行政法人 日本学術振興会 半導体界面制御技術第154委員会委員 (2007- )

独立行政法人 日本学術振興会 科学研究費委員会 審査第三部会 工学小委員会委員(2012-2013)

独立行政法人 日本学術振興会 科学研究費助成事業 研究進捗評価委員 (2012-2013)

独立行政法人 日本学術振興会 科学研究費助成事業 第1段審査委員 (2009-2010)

独立行政法人 日本学術振興会 国際事業委員会書面審査員 (2006.8-2008.7)

独立行政法人 日本学術振興会 特別研究員等審査会専門委員 (2003.8-2008.7)

経済産業省地域技術開発関係事業事前評価委員(2003.2-2009.8)

独立行政法人 新エネルギー・産業総合開発機構(NEDO)技術委員 (2009.7-2011.3)

AM-FPD (Int'l Workshop on Active-Matriz Flatpanel Displays and Devices)
Program Committee (2007)
Program Committee Chair (2008-2009)
Organizing Committee (2010-2011)

Symp. on VLSI Technology
Program Committee (1999-2002)


IEDM (IEEE Int'l Electron Devices Meeting)
Technical Program Committee (1993-1994)
Session Chair (1993-1994)

IRPS (IEEE Int'l Reliability Physics Symposium)
Technical Program Committee (1991-1995)
Session Chair (1992)
Workshop Moderator (1996)

SSDM (Int'l Conference on Solid State Devices and Materials)
Program Committee (1997-2001)

SPIE Conference on Microelectronic Device Technology
Conference Co-Chair (1997-1999)

ISTDM (Int
l SiGe Technology and Device Meeting)
Int
l Technical Program Committee (2003- )

Int’l Workshop on New Group IV (Si-Ge-C) Semiconductors
Scientific Program Committee (2001-2004)

ICSI (Int’l Conference on Silicon Eptaxy and Heterostructures)
International Technical Program Committee (2005-2011)

ISCSI (Int’l Symposium on Control of Semiconductor Interfaces)
International Technical Program Committee (2013)

Int’l Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
Program Committee (2006-2013)

VLSI-TSA (Int’l Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications)
Technical Program Committee (2000-2001)

ICSICT (Intl Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology)
Program Committee (2001)

MNC (Int’l Microprocesses and Nanotechnology Conference)
Local Arrangement Chair (2001)

SNW (Silicon Nanoelectronics Workshop)
Technical Program Committee (1999)

()電子情報技術産業協会 「極低電力情報端末用LSI研究開発」推進委員会委員 (1998-2002)
(本プロジェクトは経済産業省「即効的・革新的エネルギー環境技術研究開発制度」の一環として,NEDOを通じて行われたSOIに関する産官学の国家プロジェクト)

中国経済産業局 シリコンヒルズ構想推進研究会委員
2004)

UCS (Ultra Clean Society)半導体基盤技術研究所SOI・エピ技術委員会幹事 (1997-1999)

文部科学省 科学技術政策研究所 科学技術動向研究センター 専門調査員 (2001- )

応用物理学会講演会セッション座長 (1994,1996,1999,2000,2002,2014,2016)

電子情報通信学会総合大会セッション座長 (1997)



セミナー講師

"0.25μm完全空乏型CMOS/SIMOXデバイスとその低電圧・低消費電力LSIへの応用,リアライズ社「各種デバイスのSOI適用の実際」,1996年6月.

“低エネルギーSOI MOSデバイスの基礎と実用化技術,日本テクノセンター,1996年11月.

Fully-Depleted CMOS/SIMOX Technology for Low-Power, High-Speed ULSIs, SEMICON WEST 97, Technical Seminar on SOI Technology, July, 1997 (San Francisco).

“初歩からわかるSOI CMOSデバイス入門セミナー,リアライズ社,1998年4月.

“高性能なSOI CMOSデバイス開発のための基礎と今後の展望,日本テクノセンター,2002年3月.